TUAP- MKS Емкостные датчики давления типа «Баратрон»

Номенклатура датчиков давления Баратрон

Используемые обозначения и примечания:

Абс/Диф/Изб – измерение абсолютного, дифференциального или избыточного давления

Точность включает нелинейность, гистерезис и невоспроизводимость

Верхний предел измерения приборов равен одному из значений стандартного ряда: 0.1, 1, 10, 20, 100, 1000 Торр; 5, 10, 15, 20, 25 кТорр (тысяч Торр). Некоторые модели могут иметь расширенный ряд верхних пределов.

Температурные коэффициенты:

дрейфа нуля определяется как процент от ВП (верхнего предела) на градус изменения температуры
усиления определяется как процент от показания на градус изменения температуры

Т_т.с. – температура термостатирования

Ул.ч. – ультрачистое исполнение, минимальная шероховатость внутренних поверхностей

Нетермостатированные Баратроны с компенсацией по температуре

Модель	Абс/ Диф/ Изб	Точность, %	Диапазон верхних пределов	Температурные коэффициенты, %		Описание
Модель	Абс/ Диф/ Изб	Точность, %	Диапазон верхних пределов	дрейф нуля	усиления	Описание
230	А	0,5; 0,3	10 Торр .. 25 кТорр	0,02	0,04	Библок – электронные схемы прибора вынесены за пределы его корпуса, что позволяет отжигать датчик до 150° (до 200° с отключенным кабелем). Выходной сигнал по току.
622	А	0,25; 0,15	1 Торр .. 1 кТорр	0,015; 0,005	0,04	Винтовой разъём
626	А	0,25; 0,15	1 Торр .. 1 кТорр	0,015; 0,005	0,04	Идентичен модели 622, но разъем Sub-D
623	А	0,25; 0,15	10 Торр .. 1 кТорр	0.005	0.04	2 блокировки
221	Д	0,5	10 Торр .. 25 кТорр	0.02	0.04	Библок, отжигаем до 150° (без кабеля – до 200°)
223	Д	0,5; 0,3	0.2 Торр .. 1 кТорр	0.05	0.04	Полностью металлический
225	Д	0,5; 0,3	0.2 Торр .. 1 Торр	0.1	0.04	U_вых=0..5В
229	Д	0,5; 0,3	0.2 Торр .. 1 Торр	0.05	0.04	U_вых=4..20мА
722	А	0,5	10 Торр .. 25 кТорр	0.008	0.04	Мини-Баратрон стандартного применения.
740	И	1	3.5, 7, 14, 17.5, 35, 70, 140, 210 бар	0.01	0.027	Мини-Баратроны для работы с агрессивными средами. Различные штуцеры и электрические разъёмы.
750	А	1	10 .. 1000 Торр,3.5, 7, 210 бар	0.01	0.027
870, 872	А	1	1000 Торр, 3.5, 7, 17.5, 70, 200 бар	0.02	0.04	Микро-Баратрон. Модель 872 имеет 2 фланца и ставится в поток. Подробнее...
Серия 4хх	А		1 Торр .. 35 кТорр			Взрыво-безопасные модели

Термостатированные баратроны

Модель	Абс/ Диф/ Изб	Точность, %	Диапазон верхних пределов	Температурные коэффициенты, %		Т_т.с. , °C	Описание
Модель	Абс/ Диф/ Изб	Точность, %	Диапазон верхних пределов	дрейфа нуля	усиления	Т_т.с. , °C	Описание
220	А	0,15	1 Торр .. 25 кТорр	0.005	0.002	45	U_пит= 220 В
220D	Д	0,15	1 Торр .. 25 кТорр	0.005	0.002	45	U_пит= 220 В
624	А	0,12	0,1 Торр .. 1 кТорр	0.002	0.02	45	2 блокировки
627	А	0.25; 0.15; 0.12	0.02 Торр .. 1 кТорр	0,005; 0,002	0,02	45	Широкого применения
629	А	0.15; 0.12	0.05 Торр .. 1 кТорр	0,005; 0,002	0,02	45	Дистанционная установка нуля
СТ27	А	0.25; 0.15; 0.12	0.02 Торр .. 1 кТорр	0,01; 0,002	0,02	45	Интерфейс по протоколу Devicenet
625	А	0,25	0,1 Торр 1 кТорр	0.002	0.02	100	Две блокировки
631	А	0,25	1 Торр .. 1 кТорр	0,004	0,02	150	Для процессов lpcvd, индикатор нагрева
628	А	0.5; 0,25	0.1 Торр ..1 кТорр	0,01; 0,002	0,02	100	Аналог 627
619	Д	0,5	1 Торр .. 25 кТорр	0,02; 0,0075	0,04	100,125,150	Две блокировки
621	А	0,5	1 Торр .. 25 кТорр	0,02; 0,0075	0,04	100,125,150	Библок, две блокировки

Баратроны высокой точности

Емкостные манометры высокой точности функционируют только с электронными блоками компании «MKS Instruments», разработанными специально для этих моделей.

Модель	Точность, %	Диапазон верхних пределов	Температурные коэффициенты, %		Т_{т.с. ,}°C	Описание
Модель	Точность, %	Диапазон верхних пределов	дрейфа нуля	усиления	Т_{т.с. ,}°C	Описание
Измерение абсолютного давления
690А	0,12 0,08 0,05	0.1 Торр .. 25 кТорр	0.0004-0.0030	0.02-0.1	45	Эталон
590А	0,12	1 Торр .. 25 кТорр	0.015	0.020	70	Эталон, температура термостатирования 70°C
615А	0,25 0,12	1 Торр 10 Торр .. 25 кТорр	0.04	0.03	до 150	Отжигаем до 200°C
120А	0,12; 0,08; 0,05	0.1 Торр .. 25 кТорр	0.0004	0.03	45	Высокоточная модель промышленного исполнения.
Измерение избыточного давления
616А	0,25; 0,12	1 Торр .. 25 кТорр	0.04	0.03	до 300	отжигаем до 400°C
698А	0,12; 0,08; 0,05	0.1 Торр .. 1 кТорр	0.0004-0.0030	0.02-0.1	45	При ВП=0.1 Торр калибровка осуществялется в одну сторону
120АD	0,12; 0,08; 0,05; 0,15; 0,25	1 Торр .. 25 кТорр	0.0004	0.03	45	калибровка в одну или две стороны (по заказу)

Реле давления (измерительная ячейка Баратрона без выходного сигнала)

Модель	Абс/ Диф/ Изб	Точность, %	Диапазон верхних пределов	Температурные коэффициенты, %		Т_т.с.,°C	Описание
Модель	Абс/ Диф/ Изб	Точность, %	Диапазон верхних пределов	дрейфа нуля	усиления	Т_т.с.,°C	Описание
141A	А, И	0,5	1 Торр .. 25 кТорр	0,04	0,06	-	Уставка 0.2-100%; отключение в течение 20 мс.
142A	А, И	0,5	1 Торр .. 25 кТорр	0,015	0,03	100	U_вх=20..30 В, реле 30В пост. тока 1 А или 120 В перем. тока 1 А
41A 42A	И	0,5% от ВП	3.5, 7, 17.5, 70, 200 бар	0.07	0,04	-	Заводская уставка 5-100%, реле 30 В / 1 А срабатывает выше или ниже уставки (по заказу).
51A 52A	А	0,5% от ВП	10 .. 1000 Торр	0.07	0,03	-

Модели с термостатированием обеспечивают измерение давления в четырех-пяти декадах. Например, датчик с ВП 1000 торр измеряет давление от 10^-1 торр до 1000 торр (4 декады). Термостатирование позволяет уменьшить температурную погрешность датчиков при изменении температуры окружающей среды. Модели, работающие при повышенных температурах, применяются для предотвращения образования осадка на внутренних стенках ячейки Баратрона при высокотемпературных процессах в реакционной камере.

НОВИНКИ

600-я серия емкостных манометров Баратрон отличается использованием новой технологии в изготовлении сенсоров, что обеспечивает им лучшую компенсацию по температуре и лучшую стойкость к превышению давления. Электронные модули сделаны на гибридных схемах и по технологии CMOS. Гарантийный срок увеличен до 2 лет.

Мини-БАРАТРОНЫ серии 740 и 750 - самые дешевые датчики, их стоимость резко падает при увеличении количества заказанных приборов.

Микро-БАРАТРОНЫ серии 870 и 872 - самые компактные Баратроны для измерений повышенных давлений (до 210 атм) в системах подачи газов (как высокочистых, так и агрессивных). Точность 1% от показания.

Вакуумные реле серии 40 и 50 - компактные, надёжные приборы - идеальное решение для задач коммутации/блокировки управляющих цепей на определённом уровне давления (абсолютного и избыточного) от 35 бар до 0.1 торр.

Серия «CommunicaTorr» - цифровые приборы компании «MKS Instruments».

Радикальное решение для создания установок нового поколения путем оснащения всех приборов компании цифровым интерфейсом RS 485. Начиная с 1996 года, в этой серии производятся: емкостные датчики давления, вакуумметры с холодным и горячим катодом, конвекционные датчики, регуляторы массового расхода газа, клапаны с мотыльковой заслонкой. Первый среди емкостных датчиков давления этой серии Баратрон 627 по Вашему запросу может быть оснащен цифровым интерфейсом RS 485.

Некоторые новейшие модели еще, возможно, не указаны в данном документе. Обращайтесь к нам, и мы найдем для Вас лучшее решение.