TUAP- MKS Измерители и регуляторы расхода газовых сред

Дозаторы и регуляторы жидкого и парообразного агента

Модель	Точность	Верхний предел, ст.см³/мин	Особенности
1640А	>0.2%	2 .. 20 000	Полностью металлический регулятор расхода, использующий принцип измерения перепада давления. Рассчитан на входное абсолютное давление от 10 торр до 1.3 бар.
1150С	5%	до 1000	Регулятор массового расхода испаряемой/сублимируемой парогазовой смеси, использующий метод измерения давления. Данная модель управляет расходом пара без применения газа-носителя. Она разработана для систем с давлением процесса не выше 1 торр. Входное давление в регулятор: от 1 торр до 3 бар. Компактный моноблок.
1152С	5%	до 1000	Модели 1150C с двумя датчиками давления Баратрон (для меньшего перепада давлений Рвх/Рвых).
1153A	0.2 .. 3%	0 .. 10 000	Модель 1152C для точной и воспроизводимой подачи паров низкого давления (единицы торр) или сублимируемого газа из твёрдого источника. Полностью металлический, Т_раб < 200°C.
VODMA	3%	1000, 3000	Модуль подачи водяного пара. Давление воды на входе: 1,3 .. 2,6 бар.
DLI-25	<1%	2.5	Система подачи пара. Содержит жидкостной насос, испаритель с регулятором температуры и микропроцессорный блок управления. Применяется для подачи строго дозированного количества жидкого агента в виде пара без необходимости контролировать нагрев каналов между резервуаром с жидкостью и регулятором. Диапазон регулирования расхода жидкости: 0.006 .. 2.5 см³/мин, Т_раб< 250°C, рабочее давление 0,7 .. 17 бар.

Подача пара с помощью регулятора модели 1153A

Модели 1150C и 1152С применяются для подачи паров таких жидкостей, как TEOS, DADBS, HMDS, TMCTS, TiCl₄, TaCl₅, TEAL, TEB, TEG, TEI, TIBAL, TMAL, TMB, TMG, TMI, TMP.