|
НОВИНКИ
640 (641) - Регулятор
давления на базе мини-Баратрона и электромагнитного клапана регулирования.
Мини-Баратрон измеряет абсолютное (относительное) давление с точностью
0,5% от показания. Регулятор позволяет осуществить регулирование давления
на входе или выходе из камеры от 0.2 торр до 5000 торр, расход от 1
ст.см3/мин до 50 ст.л/мин. Регулятор может использоваться как при
регулировании на входе, так и на выходе из камеры, при соответствующем
подсоединении штуцера "давления", 2 блокировки с индикацией срабатывания.
Клапан регулирования НЗ (для безопасности), закрывается в случае
отсутствия давления. Подстройка параметров ПИД с помощью встроенных
потенциометров. Совместим с электронными блоками питания и индикации
246,247, 647, 167.
|
|
649 -
Аналог модели 640, но с встроенным измерителем
расхода проходящего газа. Упрощает максимально систему регулирования и
измерения расхода, необходим в случаях, аналогичных системе охлаждения
обратной стороны пластины в микроэлектронике.
146 -
Цифровой блок ПИД регулирования давления, регулирование на входе: при
работе с клапаном 148, 248, 154; регулирование на выходе: с мотыльковой
заслонкой 153 (см. дополнительно раздел "Вакуумметры"). Многоцелевая
универсальная модель. |