Клапана HPS
Отделение HPS компании "MKS
Instruments" выпускает широкую гамму вакуумных клапанов и вакуумной
арматуры. Оборудование HPS успешно применяется во многих областях
вакуумной техники и технологии.
Тщательная обработка рабочих поверхностей и отработанная процедура очистки
поверхности уменьшает до минимума дегазацию и утечки. Оборудование для
высокого вакуума проходят специальную очистку и запечатываются в
специальную упаковку, сохраняющую чистоту продукции до момента установки.
- Одноступенчатые клапаны
- Многоступенчатые клапаны
- Клапаны с подогревом
- Изолирующие клапаны
- Специальные клапаны
-
Затворы высоковакуумные серии HV и
сверхвысоковакуумные серии UHV
1. Одноступенчатые клапаны
Серия |
Внешний
вид |
Краткое
описание серии и основные технические характеристики |
150/160 |
|
Универсальные клапаны серий 150/160 предназначены для работы при
давлениях от атмосферного до ультра-высокого вакуума. Клапаны
обладают большим ресурсом работы: более 1,000,000 циклов до
обслуживания, успешно используются в полупроводниковой,
химической промышленности, а также в исследовательских областях.
Фланцы: ISO-KF, CF ДУ 16-160
Варианты исполнения - угловые (серия 150), линейные (серия 160). |
LoPro |
|
Серия
сильфонных тарельчатых клапанов LoPro отличается компактностью,
что позволяет легко интегрировать их в откачную систему.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Возможен как пневматический, так и ручной привод.
Комплектуются уплотнителями: витон, силикон, Buna-N, Kalrez,
Chemraz,
Фланцы: ISO-KF, CF ДУ 25-50 |
Cv |
|
Клапаны
серии Cv отличаются высокой проводимостью, компактностью и
надежностью, предназначены для работы при давлениях от
атмосферного до ультра-высокого вакуума. Эти клапаны идеально
подходят для полупроводниковой промышленности и в
исследовательских системах. Клапаны обладают большим ресурсом:
более 1,000,000 циклов до обслуживания. Также рекомендуются к
применению в качестве байпасных, вентилирующих и напускных
клапанов.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ISO-KF, CF |
ECv |
|
Серия
электромагнитных клапанов ECv идеально подходит для портативных
откачных систем и аналитических систем. Также рекомендуются к
применению в закрытых невентилируемых помещениях, во всех
случаях, исключающих повышенную теплоотдачу.
Электромагнитный привод обеспечивает быструю и бесшумную реакцию
на управляющий сигнал.
Клапаны обладают большим ресурсом работы: до 1.000.000 циклов до
обслуживания при работе в чистых условиях. |
UHV |
|
Клапаны
серии UHV разработаны для использования в высоковакуумных
областях, для физики высоких энергий, масс-спектрометрии и
других областях, требующих применения ультрачистого
оборудования. Внутренняя поверхность клапана обработана
посредством электрополировки, все уплотнения выполнены полностью
из метала. |
2.
Многоступенчатые клапаны
3. Клапаны с подогревом
Серия |
Внешний
вид |
Краткое
описание серии и основные технические характеристики |
Jalapeno |
|
Одно- и
двухступенчатые клапаны серии Jalapeno предназначены для
высокотемпературных процессов, при работе с такими средами, как
нитриды, используются в полупроводниковой промышленности.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ДУ50-100 ISO-KF, ISO-MF |
170/180 |
|
Серия клапанов
170/180 специально разработана для работы со средами, такими как
хлористый аммоний, способными застывать на поверхностях клапаны
при нормальных условиях. Аналог серии 150/160, с подогревом
корпуса до 80°С.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: 1,5", 2" ISO-KF, 3" ISO-Universal |
V-100 |
|
Серия клапанов
V-100 по характеристикам полностью аналогична серии 170/180.
Фланцы: 4" ISO-KF
Варианты исполнения - линейные, угловые. |
JLoPro |
|
Клапаны серии
Jalapeno LoPro предназначены для изоляции линий откачки и ловушек,
предотвращают сублимацию веществ, увеличенный период обслуживания
от 2-х до 12-ти недель или от 20 до 145 запусков.
Фланцы: ДУ25-50 ISO-KF |
4. Изолирующие клапаны
Серия |
Внешний
вид |
Краткое
описание серии и основные технические характеристики |
IDAIn Situ |
|
Клапаны серии
IDA In Situ совмещают функции отсечного клапаны, предохраняющего
датчики (Баратрон) от превышения давления, клапаны для установки
нуля и периодической поверки Баратрона без его демонтажа, а также
для диагностики камеры, в которой установлен датчик. |
Cv |
|
Клапаны серии
Cv отличаются высокой проводимостью, компактностью и надежностью,
предназначены для работы при давлениях от атмосферного до
ультра-высокого вакуума.. Эти клапаны идеально подходят для
полупроводниковой промышленности и в исследовательских системах.
Клапаны обладают большим ресурсом: более 1,000,000 циклов до
обслуживания. Также рекомендуются к применению в качестве
байпасных, вентилирующих и напускных клапанов.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ISO-KF, CF |
ECv |
|
Серия
электромагнитных клапанов ECv идеально подходит для портативных
откачных систем и аналитических систем. Также рекомендуются к
применению в закрытых невентилируемых помещениях, во всех случаях,
исключающих повышенную теплоотдачу.
Клапаны обладают большим ресурсом работы: до 1.000.000 циклов до
обслуживания при работе в чистых условиях. |
5. Специальные клапаны
Серия |
Внешний
вид |
Краткое
описание серии и основные технические характеристики |
145 |
|
Клапан 145
SENTRY - автоматический клапан безопасности, не требующий внешних
команд. Предназначен для поддержания камеры под вакуумом в случае
отключения электрического питания на насосах. При остановке
форвакуумного насоса открывается сервоклапан, который наполняется
воздухом до давления 1 атм и не позволяет маслу подняться в
форвакуумный насос.
Фланцы: ДУ 25, 40, 50. |
225 |
|
Клапан 225
AUTO-SOFT - клапан с переменной проводимостью, экономичное
устройство обеспечения плавного начала откачки. Сокращает
турбулентность, энергонезависим. Типичное увеличение времени
откачки в 3 раза. Клапаны этой серии находят свое применение в
полупроводниковой промышленности и производстве тонких пленок,
заменяя управляемые байпасные клапаны.ДУ 40, 50. |
6. Затворы высоковакуумные серии HV и
сверхвысоковакуумные серии UHV
Серия |
Внешний
вид |
Краткое
описание серии и основные технические характеристики |
HVISO DN 16
- 250 |
|
- Корпус выполнен из
алюминиевого сплава
- Уплотнение: Viton
- Индикация положения
заслонки затвора
- Уровень негерметичности:
<10-9 мбар•л/с
- Рабочий диапазон
давлений: 1.10-7 мбар до 1.2 бар (абс)
- Максимальный перепад
давлений на заслонке затвора (в закрытом положении): 1.2 бар в
любом направлении
- Максимальный перепад
давления на открытие: 30 мбар
- Средняя наработка до
первого сервисного обслуживания: 50 000 циклов
- Ручное и пневматическое
управление приводом затвора
Присоединительные фланцы
выполнены по стандарту ISO-KF DN 16-50 и ISO-F DN 63-250
- Ориентация при установке
произвольнаяoОтличительная особенность клапана - высокая
проводимость
- При потере давления
воздуха в пневмо-системе затвора и отсутствии напряжения на
электромагнитном клапане, заслонка затвора закрывается и
механически блокируется.
|
UHVCF-F DN
63 - 250 |
|
- Корпус выполнен из
нержавеющей стали
- Уплотнение: Metal / Viton
- Индикация положения
заслонки затвора
- Уровень негерметичности:
<10-9 мбар•л/с
- Рабочий диапазон
давлений: 1.10-10 мбар до 1.6 бар (абс)
- Максимальный перепад
давлений на заслонке затвора (в закрытом положении): 1.2 bar в
любом направлении
- Максимальный перепад
давления на открытие: 30 мбар
- Средняя наработка до
первого сервисного обслуживания: 50 000 циклов
- Ручное и пневматическое
управление приводом затвора
- Присоединительные фланцы
выполнены по стандарту CF-F по запросу заказчика возможно
исполнение ISO-F
- Ориентация при установке
произвольнаяoОтличительная особенность клапана - высокая
проводимость
- При потере давления
воздуха в пневмо-системе затвора и отсутствии напряжения на
электромагнитном клапане, заслонка
затвора закрывается
и механически блокируется.
|
|