Краткое описание:

Применение:

-Сверхмощный насос ДУ 250.
-Резервное охлаждение на криопанели 80К. Насос специально разработан для откачки в условиях сильного теплового излучения
-Резервное охлаждение на криопанели 15К. Обеспечивается запас производительности в случае продолжительных высоких газовых нагрузок.

-Напыление
-Установки ионного легирования.
-Установки для нанесения оптических покрытий.
-Печи.
-Металлизация.

Спецификация:

Емкость:

• по воздуху: 3000 л/с
• по парам воды: 9000 л/с
• по водороду: 5000 л/с
• по аргону: 2500 л/с

Производительность:

по аргону: 1500 ст. см³/мин (19 Торр·л/сек)

• по аргону: 2000 ст. л
• по водороду (при 5·10^-8Торр): 12 ст. л
• по водороду (при 5·10^-6Торр): 24 ст. л