Краткое описание:

Применение:

-Сверхмощный насос ДУ 400.
-Возможна поставка с фланцем CVC. Идеальная замена для переоснащения откачной системы на основе диффузионного масляного насоса.
-Резервное охлаждение на криопанели 80К. Насос специально разработан для откачки больших рабочих объемов в условиях сильного теплового излучения.

-Печи
-Установки ионного легирования.
-Установки горячей очистки
-Камеры для испытаний в условиях космоса.
-Установки для нанесения оптических покрытий.
-Испарительные установки.

Спецификация:

Емкость:

• по воздуху: 5000 л/с
• по парам воды: 16000 л/с
• по водороду: 5000 л/с
• по аргону: 4200 л/с

Производительность:

по аргону: 500 ст. см³/мин (6,3 Торр·л/сек)

• по аргону: 2500 ст. л
• по водороду (при 5·10^-8Торр): 7,5 ст. л

• по водороду (при 5·10^-6Торр): 15 ст. л