Краткое описание:

Применение:

-Сверхмощный насос ДУ 150.
-Резервное охлаждение на криопанели 80К. Насос специально разработан для откачки в условиях сильного теплового излучения
-Резервное охлаждение на криопанели 15К. Обеспечивается запас производительности в случае продолжительных высоких газовых нагрузок
-Может работать одновременно с другими насосами от одного компрессора.

-Напыление
-Установки ионного легирования.
-Установки для нанесения оптических покрытий.
-Печи.
-Металлизация.
-Испарительные установки.

Спецификация:

Емкость:

• по воздуху: 1500 л/с
• по парам воды: 4000л/с
• по водороду: 2500 л/с
• по аргону: 1200 л/с

Производительность:

по аргону: 700 ст. см³/мин (8,9 Торр·л/сек)

• по аргону: 1000 ст. л
• по водороду (при 5·10^-8Торр): 6 ст. л

• по водороду (при 5·10^-6Торр): 12 ст. л