РЕГУЛИРОВАНИЕ ДАВЛЕНИЯ НА ВХОДЕ В КАМЕРУ

244С - Блок ПИД регулирования давления/расхода с 1, 3 или 4 порогами по выбору заказчика, индикацией предельного положения клапана, вместе с моторизованным клапаном 245 (используется высокоскоростной шаговый двигатель) входит в состав системы регулирования для процессов с использованием одного газа, таких как травление распылением, ионная имплантация, калибровка вакуумметров и т.д.

250 - Блок ПИД регулирования расхода или давления газа с возможностью автоматического, ручного или дистанционного управления с оптимизацией по фазе и коэффициенту усиления при замкнутой системе управления. Количество контрольных точек по заказу. Индикация: аналоговая или цифровая (41/2 знакоместа). Принимает сигнал различных датчиков давления. В замкнутой системе регулирования может применяться с клапаном 248 или регуляторами расхода газа. Для регулирования давления в многоканальных системах применяется вместе с многоканальными электронными блоками регуляторов расхода (например, 247).

1249 - Компактный контроллер электромагнитного клапана 148 или 248, применяемый для регулирования давления или расхода. Принимает аналоговые управляющие сигналы (0-5 В, 0-10 В, 4-20 мА) или цифровые (ТТL) от ПК или регулятора ПИД, который не может управлять клапаном напрямую из-за отсутствия необходимого силового выходного сигнала. Поэтому при наличии в системе регулятора ПИД приобретение данного блока является экономичным вариантом для пользователя. См. также раздел "Примечание" главы "Измерение и регулирование расхода газа".

Система регулирования давления на входе, один канал:

Система на основе эл.м. клапана

Система регулирования давления, 1 канал, на основе эл.м.клапана

Система на основе регулятора массового расхода газа:

Система регулирования давления на входе, 1 канал, на основе РРГ

Система регулирования давления на входе, четыре канала:

Система регулирования давления на входе, 4 канала