|
|
|
Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел: 920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97 |
ВЫСОКОВАКУУМНЫЕ ТУРБОНАСОСЫ:
Турбомолекулярные, молекулярные, гибридные вакуумные насосы
Компания ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY FRANCE
уже более 20 лет серийно выпускает высоковакуумные турбонасосы
(турбомолекулярные насосы, молекулярные, гибридные насосы )для задач,
связанных с микроэлектроникой, тонкопленочными технологиями, НИОКР, ядерной
физикой и др.
Будучи одним из лидеров в разработке и производстве традиционных молекулярных и
турбомолекулярных насосов, ALCATEL, в настоящее время, расширил гамму
выпускаемых насосов новыми моделями гибридных насосов на магнитными подвесе.
ALCATEL представляет своим заказчикам очень широкий ряд высоковакуумных насосов, включающий следующие разновидности турбонасосов:
- Турбомолекулярные (классические) насосы:
серия АТР,
ряд: 80, 100, 150, 400, 900.
- Молекулярные насосы: модели MDP5011 и MDP5011CP.
- Гибридные насосы: модели АТН31, АТН31+, АТН31С
- Гибридные насосы с магнитным подвесом: серия АТН,
ряд: 400, 1300, 1600, 2300.
Комплект высоковакуумного турбонасоса состоит из следующих компонентов:
1 - турбина
2 - контроллер (выполняющий функции преобразователя питания, регулятора
оборотов, индикатора состояния)
3 - соединительный кабель между турбиной и контроллером.
Основные параметры, по которым классифицируются турбонасосы:
1.
Номинальная скорость откачки
2. Максимальное создаваемое разряжение
3. Максимальное рабочее входное давление
4. Максимальное давление старта (потребное разряжение со стороны форвакуумного
насоса для начала эффективной работы)
5. Степень компрессии откачиваемого газа на турбине
Дополнительные параметры турбонасосов, определяющие выбор модели:
-
Ду (диаметр и тип присоединительных
фланцев)
- Тип охлаждения (водяной, воздушный:естественная и принудительная вентиляция)
- Тип подвески ротора (определяет срок до первого обслуживания)
- Тип контроллера (полнофункциональный, интегрируемый,..)
- Исполнение: общего применения, химстойкое …
Ниже приведены краткие сведения по
выпускаемым турбинам.
Полную информацию по турбинам и совместимым с ними контроллерам вы можете найти
в разделах, посвященных соответствующим турбонасосам.
| Модель |
Скорость откачки, л/с |
Максимальное создаваемое разряжение, мбар |
Максимальное |
Максимальное рабочее выпускное давление, мбар |
Степень компрессии газа на турбине (по азоту) |
|
7 |
1*10-6 |
10 |
4*10+1 |
1*10+9 |
|
|
7 |
1*10-6 |
10 |
5*10+0 |
1*10+6 |
|
|
33 |
1*10-8 |
1 |
2,5*10+1 |
1*10+8 |
|
|
33 |
1*10-9 |
1 |
4,5*10+1 |
2*10+9 |
|
|
33 |
1*10-9 |
5*10-1 |
4,5*10+1 |
1*10+11 |
|
|
200 |
5*10-10 |
4*10-3 |
4 |
1*10+9 |
|
|
200 |
5*10-10 |
4*10-3 |
4 |
1*10+9 |
|
|
300 |
5*10-10 |
1*10-1 |
10 |
1*10+9 |
|
|
300 |
5*10-10 |
1*10-1 |
10 |
1*10+9 |
|
|
80 |
5*10-9 |
1*10-1 |
2*10-1 |
8*10+7 |
|
|
100 |
5*10-9 |
1*10-1 |
3*10-1 |
8*10+7 |
|
|
140 |
5*10-10 |
1*10-1 |
4*10-1 |
7*10+8 |
|
|
400 |
8*10-10 |
2*10-2 |
2*10-1 |
7*10+8 |
|
|
900 |
5*10-10 |
1*10-2 |
3*10-1 |
1*10+9 |
|
|
380 |
5*10-8 |
1*10-1 |
6*10-1 |
7*10+6 |
|
|
700 |
5*10-8 |
2*10-2 |
4*10-2 |
1*10+7 |
|
|
410 |
8*10-9 |
1 |
2 |
1*10+7 |
|
|
1250 |
8*10-9 |
0,5 |
1,5 |
1*10+7 |
|
|
1500 |
6*10-9 |
0,2 |
1,5 |
6*10+7 |
|
|
2100 |
4*10-9 |
0,15 |
1,5 |
1*10+8 |
Размещая заказ на высоковакуумный турбонасос, пользователь должен понимать, что для правильной работы турбонасоса при откачке с атмосферного или избыточного давления, потребуется форвакуумный насос предварительного разряжения. Например, пластинчато-роторный или многоступенчатый насос Рутса.
Контроллеры:
1- Контроллеры (полнофункциональные) турбонасосов предназначены для преобразования сетевого питания в рабочие напряжение и частоту турбины. Они обеспечивают включение и выключение насоса, его , индикацию основных рабочих параметров, возможность дистанционного управления турбиной от ПК или PLC, считывание текущих параметров через цифровой интерфейс или аналоговые сигналы и др.
Компания ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY FRANCE для некоторых моделей турбонасосов поставляет не только полнофункциональные корпусные контроллеры, но и ряд их модификаций:
2 - бескорпусные интегрируемые - без индикации, но с набором команд для дистанционного управления и интерфейсом (предназначены для встраивания контроллера в более глобальную систему управления вакуумной установкой с обеспечением индикации и сигнализации не средствами контроллера, а центральным контроллером или ПК)
3 - упрощённые бескорпусные контроллеры (обеспечивают главное - основной режим работы, остальные возможности в зависимости от модификации)
