ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ СЕРИИ АТР
ЭТО 5 МОДЕЛЕЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫХ НАСОСОВ, ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬЮ ОТ 80 ДО 900 Л/С.

Принцип работы турбомолекулярного насоса (турбины):
В режиме молекулярного течения газа молекулы из откачиваемого объёма по достижении ими естественным путем входного фланца турбины захватываются системой вращающихся дисков ротора и неподвижных дисков статора. Благодаря наличию спрофилированных каналов в обоих видах дисков, захваченные молекулы направляются в направлении выхлопа насоса.

1-Всасывание
2-Ротор
3-Статор
4-Керамические подшипники
5-Динамическое уплотнение
6-Выхлоп
7-Электрический мотор

Главные отличительные особенности насосов этой серии:
-Керамические подшипники с вязкой смазкой;
-Изменяемая скорость вращения ротора от 6000 до 27000 об/мин.;
-Три типа охлаждения: натуральная конвекция, принудительное воздушное или водяное
- Исполнение "С" (Химстойкое, с продувкой азотом) для использования с химически агрессивными газами;
- Исполнение "HPC" для задач микроэлектроники;

(1) Стандартное исполнение -Откачка чистых нейтральных газов:

Как и во всех насосах этой серии в турбинах стандартного исполнения скорость вращения ротора регулируема для оптимальной адаптации для задачи заказчика.

Различают следующие скоростные режимы:
-номинальная скорость вращения, которая соответствует максимальной скорости вращения ротора - 27000 об/мин.
-редуцированная скорость вращения (или режим ожидания), соответствующая устанавливаемой пользователем скорости в диапазоне от 6000 об/мин до 27000 об/мин.

(2) Исполнение химстойкое - Откачка агрессивных сред:

Специальное инверсное динамическое уплотнение между п/ш и выхлопной полостью минимизирует количество откачиваемого газа, проникающего в узлы п/ш и контактирующего с ними, тем самым существенно продлевая ресурс их работы до замены. В случае сверхвысоковакуумных систем для зашиты ТМН достаточно использования одних динамических уплотнений. Но в случае применения ТМН в задачах с большой газовой нагрузкой (потоком) рекомендуется также задействовать встроенную систему продувки п/ш азотом.

(3) Исполнение HPC (High Pressure Corrosive) (Химстойкое высокого давления)
Для задач микроэлектроники.

Это исполнение насосов разработано для задач микроэлектроники, где встречается высокая газовая нагрузка при достаточно высоких для ТМН давлениях на всасывании.
Это исполнение отличается следующим:
-усиленной защитой п/ш-эффективную защиту п/ш во время прекращения продува ТМН азотом при настройке самого технологического оборудования.
-сокращенный газовый поток, потребный для продува узлов п/ш.
-увеличенный ресурс ТМН при использовании на откачке агрессивных газов.
Корпус ТМН имеет прогревающие каналы для горячей воды (Т<65°C) для предотвращения конденсации на рабочих элементах ТМН откачиваемых газов.

Выпускаемые серийно турбомолекулярные насосы: