Приборы газового анализа (масс-спектрометры):

ЧТО ТАКОЕ МАСС-СПЕКТРОМЕТР?

Полная характеристика вакуумной среды требует определения компонентов всех присутствующих в ней газов, а также измерения суммарного давления. Приборы, используемые для этой цели, называются анализаторами остаточных газов или анализаторами парциального давления (в английском Residual Gas Analyzers).
Эти анализаторы по своей сути есть не что иное, как малогабаритные масс-спектрометры (МС), которые могут быть подключены непосредственно к вакуумной системе. Их основная функция состоит в анализе состава газов внутри вакуумной камеры.
Принципы работы всех масс-спектрометров одинаковы: небольшая доля молекул газа ионизируется (превращается в положительные ионы), полученные в результате этого ионы отделяются, фильтруются и попадают в чашу Фарадея, где их ионные токи измеряются в соответствии с молекулярными массами.
Масс-спектрометры широко применяются для оперативного определения содержания различных молекул в разреженной газовой среде, а также, при соответствующей калибровке, они могут быть использованы для определения концентраций или абсолютных парциальных давлений компонентов газовой смеси.

Содержание:

1. Конструкция и принцип работы

2. Номенклатура выпускаемых масс-спектрометров:
   e-Vision
   Vac-Check
   MicroVision Plus
   HPQ2/2S
   Масс-спектрометрические установки Vision 1000
   Mini-Lab

3. Задачи и особенности применения
4. Как правильно заказать масс-спектрометр