Масс-спектрометр MicroVision Plus

Mасс-спектрометр серии MicroVision Plus самый совершенный RGA масс-спектрометр. Высокостабильный к ВЧ воздействиям, обладает минимальным температурным дрейфом и быстрым выходом на режим, обеспечивает высокоскоростное сканирование в широком диапазоне а.е.м. и мгновенным определением отклонения парциального давления газа. Масс-спектрометры серии MicroVision Plus имеют встроенный предварительный фильтр анализатора для обеспечения предотвращения "загрязнения" и увеличения чувствительности по большим а.е.м., гибкие возможности для соединения с промышленным ПО и другими датчиками. Опционально возможна комплектация масс-спектрометра MicroVision Plus ионным источником для глубокого вакуума (UHV). Существует "высокоточное" исполнение масс-спектрометра для газового анализа в диапазоне 1-6 а.е.м.

Программное обеспечение (ПО) RGA под WindowsTM позволяет отображать данные в виде гистограммы с сопоставлением данных из библиотек, "скачек" (резкое изменение концентрации газа), анализ тенденции изменения, "контроль герметичности" и режим быстрого сканирования. ПО RGA под WindowsTM включает в себя функцию DDE (динамического обмена данными) для обмена с программами под WindowsTM. ПО имеет функцию "разделенной перекалибровки", которая может быть использована как в режиме "офф-лайн" или в режиме "имитации", так и режиме настройки с использованием реальных данных. Возможно также использование мощного пакета ПО Process Eye 2000, которое позволяет полностью автоматизировать процесс работы масс-спектрометра и отслеживать сканируемые параметры, отображать данные, записывать данные в файл (вести файл отчета), отслеживать параметры ионного источника.

Технические характеристики: Основные
Диапазон измеряемых масс	1-100 а.е.м., 1-200 а.е.м., 1-300 а.е.м. стандартное исполнение 1-6 а.е.м., 1-100 а.е.м. высокоточное стандартное исполнение
Детектор	чаша Фарадея чаша Фарадея и УВЭ с канальной пластиной чаша Фарадея с одиночным УВЭ
Максимальное рабочее давление	7,5х10^-5 Торр (1х10^-4 мбар)
Минимальное определяемое парциальное давление	1,5х10^-11 Торр (2х10^-11 мбар) чаша Фарадея 3,8х10^-14 Торр (5х10^-14 мбар) чаша Фарадея и УВЭ с КП 7,5х10^-15 Торр (1х10^-14 мбар) чаша Фарадея с одиночным УВЭ
Стабильность	±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды
Разрешение	менее 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс

Анализатор
Температура отжига	250⁰С (без электронной части)
Максимальная рабочая температура	200⁰С (только для детектора чаша Фарадея, электронный блок в горизонтальном положении)
Ионный источник (опционально)	Открытый, UHV, закрытый и перекрестный
Чувствительность ионного источника	2х10^-4 А/Торр
Энергия электронов	20 - 100 эВ (регулируется через компьютер)
Ток эмиссии	0 - 5 мА (регулируется через компьютер)
Энергия ионов	0 - 10 В (регулируется через компьютер)
Энергия экстракции ионов	0 – минус 130 В (регулируется через компьютер)
Высоковакуумный анализатор спектра дегазации	менее чем 1х10^-9 мбар литр/сек
Катоды	двойные вольфрамовые (опционально ThO₂/ Ir или Y₂O₃/ Ir)

Блок управления
Вес электронного модуля	2,1 кг
Максимально допустимая температура окружающей среды	35⁰С и относительная влажность 80%
Светодиодные индикаторы	катод 1, катод 2, УВЭ, электропотребление, внешнее подключение
Программное обеспечение	RGA для Windows^TM Process Eye 2000
Интерфейс	RS232 или RS422
Дополнительные возможности	- аудио динамик с регулируемым уровнем громкости при работе в режиме проверки герметичности - аудио динамик и разъем для внешней защиты катода - instrument reset
Требования к компьютеру	Pentium III 90МГц, 64МВ, 6GB, Win 98

Опции и Plug-in модуль
Вес электронного модуля	2,1 кг
Внешняя радиационная защита, блок управления вынесен	на 3 метра или 15 метров
Удаленный контроллер вакуума	обеспечивает блокировку с компьютера дифференциальной вакуумной откачной системы
Соленоид клапана	конвертер TTL логических сигналов в многократный 24 В выходной сигнал
Контроллер клапана	обеспечивает автоматическое управление с компьютера многоходового клапана